325脈衝雷射沈積製程應用平台使用手冊

　

  1. 儀器操作程序影音檔（請搭配使用步驟與架設圖）

  2. 儀器使用步驟

  3. 儀器架設圖

  4. 使用Fast ionization gauge 作為PLD診斷之標準作業程序

  5. 基板清洗程序

  6. 靶材製作程序_FeBO3

  7. 靶材製作程序_GdFeCo

  8. 靶材製作程序_MAPLE

  9. 靶材製作程序_碳靶

  10. 馬達控制程式（公轉＋自轉）、馬達控制程式（公轉＋自轉＋平移檯）

  11. 膜厚量測儀手冊

  12. 硬體資訊